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雙束掃描電鏡在科研工業等領域的應用

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雙束掃描電鏡(FIB-SEM)的工作原理是將聚焦離子束(Focused Ion Beam, FIB)和掃描電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope, SEM)結合在一起,是一種集微區成像、加工、分析、操縱于一體的功能強大的綜合型分析與表征設備,具有成像和加工兩個系統。這種設備可以在SEM實時觀測下,使用FIB對樣品進行微米至納米級別的精確加工。

雙束掃描電鏡在科研、工業等領域有廣泛的應用:
1、生命科學研究:利用雙束掃描電鏡對動植物細胞、組織、微生物等進行超微結構觀察,研究細胞內部結構的變化和功能機制。
2、材料科學:用于研究各種材料的微觀結構和性能,如金屬、陶瓷、復合材料等。通過離子束刻蝕和沉積技術,可以在材料表面進行微納級別的加工和制備。
3、集成電路制造:在集成電路和芯片設計制造中,利用雙束掃描電鏡進行高分辨實時觀察和微納尺度圖形的精細加工,實現電路修補、材料微納復雜圖形的加工和制備等。
4、環境監測:用于分析土壤、水體等環境樣品中的微小顆粒、污染物等物質的分布和形態。
5、地質學:用于研究巖石、礦物、古生物等地質樣品的微觀結構和形成過程。
6、醫學領域:雙束掃描電鏡可以用于觀察細胞和組織的細微結構,輔助疾病的診斷和治療。

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